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ZR执行器是一种高度集成的二维运动模组,能在同一设备中独立实现高精度的直线(Z轴)伸缩与旋转(R轴)运动。它通常集成了真空吸附、力控和驱动系统,专为半导体封测、3C电子等领域的“拾取与放置”工序设计。
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