ZR执行器

ZR执行器

ZR执行器是一种高度集成的二维运动模组，能在同一设备中独立实现高精度的直线（Z轴）伸缩与旋转（R轴）运动。它通常集成了真空吸附、力控和驱动系统，专为半导体封测、3C电子等领域的“拾取与放置”工序设计。
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参数配置

产品特性

  • 01

    超薄机身

  • 02

    高加速

  • 03

    高精度

  • 04

    运行平稳

应用领域

适用于半导体制造、3C电子、医疗设备等行业

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