精密Z轴
精密Z轴是用于实现微米级垂直方向精确定位的传动机构,常见于精密加工及检测设备中。它通常采用高精度丝杆配合光栅尺闭环控制,保证极高的轴向刚度和重复定位精度。其核心价值在于克服重力影响,在微小的行程内提供稳定、可控且分辨率极高的直线运动。
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参数配置
| 技术参数 | |
| 直线度 | ±3μm |
| 平面度 | ±5μm |
| 重复定位精度 | ±3μm |
| 定位精度 | ±5μm(补偿后) |
性能特点
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01
非接触式直线电机驱动
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02
高速、高加速、高动态响应
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03
微米级定位精度
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04
高精度编码器闭环反馈
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05
运行平稳、低噪音
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06
高强度机械结构
应用领域
半导体、新能源、精密光学和医疗设备等行业