高精度大理石模组
直线电机大理石模组是将直线电机与高刚性大理石基座结合的高精度运动平台。它利用直线电机直接驱动负载，实现无接触传动，具有零背隙、高加速度和高动态响应特性。依托大理石优异的吸震性和热稳定性，该模组广泛应用于精密检测、激光加工及半导体设备等对定位精度与稳定性要求严苛的领域。
双龙门设计，支持复杂的工艺和运动；高精度和高速设计，提高吞吐量：采用柔性连接设计，提高龙门性能。
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双龙门设计，支持复杂的工艺和运动；高精度和高速设计，提高吞吐量：采用柔性连接设计，提高龙门性能。
参数配置
| 兼容ISO5洁净室（100级） | |
| 直线度 | ±5μm |
| 平面度 | ±5μm |
| 最大速度可达 | 3m/s |
| 最大加速度可达 | 4G |
| 重复定位精度 | ±0.5μm |
| 定位精度 | ±0.8μm(补偿后) |
| XY正交 | ±5arc-sec |
性能特点
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01
精度更高更稳
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02
运行更稳更准
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03
维护少更耐用
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04
应用更广泛
应用领域
半导体、新能源、精密光学和医疗设备等行业
